MPT-750系列美國malema壓力傳感器應(yīng)用場景介紹
MPT-750系列美國malema壓力傳感器在單個(gè)設(shè)備中引入了溫度和壓力監(jiān)控功能，確保關(guān)鍵半導(dǎo)體應(yīng)用中安全、可靠和高效的流量控制。
MPT 系列有兩個(gè)版本：帶電纜連接的 MPT-750 和帶 Hirose 連接器的 MPT-751。兩種傳感器均采用單端口和流通式設(shè)計(jì)，提供標(biāo)準(zhǔn)壓力輸出和可選溫度模擬輸出。
MPT 系列為操作員提供了適應(yīng)不同條件所需的多功能性，確保關(guān)鍵半導(dǎo)體應(yīng)用中可靠的產(chǎn)品產(chǎn)量。
MPT-750系列美國malema壓力傳感器應(yīng)用場景介紹如下：
（一）濕法工藝核心環(huán)節(jié)
在濕蝕刻制程中，MPT-750實(shí)時(shí)監(jiān)測蝕刻液噴射壓力，確保晶圓表面刻蝕均勻性；濕法清洗環(huán)節(jié)通過同步監(jiān)測清洗液溫度與壓力，精準(zhǔn)控制清洗強(qiáng)度，避免晶圓表面損傷。
（二）特種流體輸送系統(tǒng)
在化學(xué)機(jī)械拋光的漿料輸送管路中，傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測漿料壓力波動(dòng)，保障研磨盤受力均勻；在電鍍沉積（ECD）制程中，精準(zhǔn)控制電鍍液壓力，確保金屬鍍層厚度一致性。
MPT-750系列美國malema壓力傳感器特征
雙重功能：通過單個(gè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的流體壓力和溫度傳感
高純度材料：由 PFA 和 FFKM 制成的接液材料有助于確保與高純度應(yīng)用的兼容性
溫度范圍：適用于0°C至70°C的單相流體
設(shè)計(jì)靈活性：提供單端口和流通式設(shè)計(jì)
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